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电子级气动风囊泵:全氟材质助力半导体洁净流体输送
在半导体制程中,化学药液的纯净度直接影响产品良率。输送环节一旦引入金属离子、微粒或气泡,就可能在晶圆表面造成缺陷。因此,半导体工艺对泵类设备提出了与传统行业不同的要求:过流部件不能引入污染,运行过程要平稳,脉动要小。一、全氟过流材质,杜绝金
发布时间:2026-11-12 点击次数:0
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