TOPCon（TunnelOxidePassivatedContact）——氧化层钝化接触。正面与常规N型太阳能电池或N-PERT太阳能电池没有本质区别，电池核心技术是背面钝化接触。电池背面由一层超薄氧化硅（1~2nm）与一层磷掺杂的微晶非晶混合Si薄膜组成，二者共同形成钝化接触结构。钝化性能通过退火过程进行激活，Si薄膜在该退火过程中结晶性发生变化，由微晶非晶混合相转变为多晶。在850°C的退火温度下退火，iVoc>710mV,J0在9-13fA/cm2，显示了钝化接触结构优异的钝化性能。

该结构可以阻挡少子空穴复合，提升电池开路电压及短路电流。超薄氧化层可以使多子电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡少子空穴复合，超薄氧化硅和重掺杂硅薄膜良好的钝化效果使得硅片表面能带产生弯曲，从而形成场钝化效果，电子隧穿的几率大幅增加，接触电阻下降，提升了电池的开路电压和短路电流，从而提升电池转化效率。

图表2：TOPCon电池结构

路线一：本征+扩磷：LPCVD制备多晶硅膜结合传统的全扩散工艺。相对成熟且耗时短，生产效率高，为目前TOPCon厂商选取的主流路线；但存在过度绕镀问题。

路线二：原位掺杂：PECVD制备多晶硅膜并原位掺杂工艺。沉积速度快，沉积温度低，还可以用PECVD制备多晶硅层，简化流程。

路线三：离子注入：LPCVD制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺。离子注入技术是单面工艺，掺杂离子无需绕度，但扩硼工艺比扩磷工艺难度大，耗时及设备需求量更高。

图表3：TOPCon主要技术路线

各厂商加速TOPCon产能规划，产业化进程推进。国内企业近两年来PERC新建产线基本预留TOPCon改造空间，以备后续升级。诸多一线大厂PERC产能已经逐渐停止，目前扩产计划也纷纷转向N型技术产线建设。进入二季度，包括晶科在内的多家厂商TOPCon产能开始释放，有望享受技术溢价。

主要企业：隆基、中来、晶科、天合光能、东方日升等。多为垂直一体化企业，因PERC电池现存产能较大，2019年来新增PERC产能基本预留TOPCon接口以备后续升级。

转换效率：中来股份是最早布局TOPCon的企业之一，目前其TOPCon电池量产批次平均转换效率为24.2%，部分产品达到24.5%。目前TOPCon公布的最高实验室转换效率为2021年中来公布的25.4%。而晶科能源是TOPCon最早将实现GW级出货的企业，预计二季度晶科能源单季度TOPCon出货量有望超1GW。

产能规划：参考PVInfoLink和集邦新能源统计，截至2022年底，全行业TOPCon产能有望超40GW，预计到2023年底将达约80GW。

图表4：各电池厂TOPCon扩产计划（不完全统计）（单位：GW）

内容来源：民生证券