风囊泵采用压缩空气为动力，泵中两个风囊将泵腔分为两个工作腔，每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分，压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形移动，近接开关感应后，通过外部的换向电磁阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送。

气动风囊泵在湿法腐蚀清洗设备中，主要有以下3方面的应用：
（1）药液的恒温控制：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件、热交换器，制冷机或加热器等组成温度控制系统，通过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以实现药液的恒温控制。
（2）药液的循环过滤：由风囊泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统，实现药液的循环过滤，均匀流畅。保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性废液回收和再利用。
（3）废液回收和再利用：100℃以下强腐蚀性药液（如SPM）使用后废液如直接从工艺槽排至废液管道，由于温度高，将导致排液管道的损坏，引起安全事故，采用工艺槽内自然冷却的方法又耗时过长，影响生产效率，一般采用高温风囊泵将槽内药液输送至降温槽，在降温槽内降温后再排入排废管道，这种方法即节省了时间，又保证了生产的安全性，被广泛采用。

科瑞达5000系列是最新式的气动风囊泵，在积累多年经验的基础上研发而成。通过增加泵的冲程速度，优化了产品尺寸、降低了产品的制造成本，操作方便，液温范围大。泵的核心部件采用高纯氟材料制作，实现了高压吐出，延长了使用寿命。零污染设计理念，洁净无污染，在无尘环境下完成制造、组装与测试，可胜任各种艰巨任务如：从清洗液循环、CMP研磨液循环、化学液体的分配与供给等。
科瑞达的气动风囊泵是一款性价比极高的气动泵，耐高温、耐腐蚀，使用寿命长、特别适合小流量，高纯度化学品的循环与输送。该泵通过内置近接开关传送信号使电磁阀换向，与各种控制器连接后，可方便地控制或管理泵的吐出量。
对于洁净状态要求极高的半导体、液晶工艺中，药液输送时不应产生或混入颗粒和污染，该风囊泵专为半导体、太阳能、LED、面板业、光电业、电子业的制造工艺设计，所有与液体接触的部件均由高纯度氟树脂材料制成，装置的外部零件也涂覆上了氟树脂涂层，没有金属部件的外露，极大的满足了耐腐蚀性能的要求，其主要特性还有：
1、泵体内部为一体式结构，完全密封，降低泄漏风险；
2、紧凑结构、高冲程率设计，减轻重量，造价成本低；
3、极强的耐温与耐化学性设计，所有过流的部件均采用无污染的高纯度氟材料；
4、液温范围大可在5~180℃的范围内输送液体，无需热循环中使用冷却水；
5、高密度风囊由极高纯度、密度的PTFE加工而成，有极佳的延展性与耐疲劳系数；
6、驱动系统内置近接传感器，可以有效地控制外部气源电磁阀的动作切换；
7、可空载运行测试，不会损坏泵体部件，配置漏液传感器，内部漏液时有警报提醒；
8、可低压下启动，减少耗气量，延长使用寿命，调整气压可控制泵的吐出量；
9、正常使用情况下，可在长达两年的质保期内，安全、可靠地运行;