热线电话

+86 0512-57866668

+86 186-6235-3366

咨询邮箱

krd001@krdsz.com

干式螺杆真空泵

干式螺杆真空泵

干式真空泵作为获得、改善和维持真空环境的主要设备,广泛应用于半导体、面板显示、太阳能光伏、LED照明、锂电、医疗器械等领域。

在半导体各制程中主要应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁和严苛的制程。


进一步了解>
  • 产品概述

    干式真空泵作为获得、改善和维持真空环境的主要设备,广泛应用于半导体、面板显示、太阳能光伏、LED照明、锂电、医疗器械等领域。
    在半导体各制程中主要应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积(ALD)、封装、测试等清洁和严苛的制程。
    真空泵也是光伏设备的关键部件之一,光伏电池主要分为四大流程:硅料制程、硅片制程、电池片制程和组件制程。真空泵主要应用于硅片拉晶,电池片高方阻扩散(低压扩散炉)和PVD、PECVD镀膜工艺,组件层压环节等。设备中的真空稳定性是工艺稳定的关键技术之一。
    随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用范围的要求越来越宽,引发真空泵行业结构转型和用户需求的动态变化。科瑞达智能基于市面现有干式真空泵的基础技术,独创研发了新型的高真空干式螺杆真空泵,能显著改善现有真空泵技术的不足,提升效率与使用寿命。
    干式泵可在严苛的工艺中提供更长的使用寿命,可以显著提高功效,创新的密封技术可以延长制程寿命,降低泄漏风险,也增强了耐腐蚀性能。

  • 应用领域

    1、半导体工业:用于半导体工业中的晶圆制造、薄膜沉积和化学气相沉积等过程,抽取残余的气体和杂质,制造液晶显示器、蚀刻、生产等离子的CVD制程等。
    2、太阳能光伏行业:用于太阳能电池板生产过程,移除生产过程中的杂质和异味等。
    3、医疗和制药业:在制药和医疗领域,用于灭菌、蒸馏、冷冻干燥和提纯等过程,帮助保持高度洁净的环境和稳定的压力等。
    4、化学工业、食品工业的蒸馏,干燥,消泡,包装等。
    5、实验室科研行业:用于物理、化学、材料、生命科学等领域,如热处理、薄膜沉积、表面处理等。

  • 性能特点

    1、新设计理念,效率更高,故障率低,易维护;
    2、微电脑控制模块,支持远程客户端监控;
    3、密封性好,不易磨损,运转可靠且维修容易;
    4、先进的抗腐蚀工艺,提升运转品质及寿命;
    5、排气路径短,结构简单,反应物易排出,减少反应物的沉积;
    6、先进的粉尘处理功能可提供更高的可靠性,延长泵使用寿命;
    7、兼容性强,可适用于各种上位机配套使用;
    8、完善的设计和制造技术,实现低振动、低噪音地运行。

规格&参数

干式螺杆真空泵1.png

干式螺杆真空泵1.png


干式螺杆真空泵主要技术参数

干式螺杆真空泵主要技术参数

项目单位DM-100DM-100NDM-100LDM-200DM-200N
抽速m³/hr108120125210220
l/min18002000208335003600
模块吹扫时的极限压力Torr<5.0*10-3
Pa<6.0*10-1
最大排气压力bar(psig)1.5(7.2)
供氮压力bar(psig)4~8(43~100)
内部吹气压力bar(psig)3(29)
氮气消耗(腐蚀)slm-
氮气消耗(CVD)slm50
氮气接口inch1/4" Lok Fitting
冷却水消耗量l/min4~8
冷却水供应温度ºC(ºF)10~28(50~90)
冷却水供应压力bar(psig)3.5~6(36~73)
冷却水接口inch3/8”Quick Connector
进气口mmDN63KF63DN100 ISO-K
排气口mmKF16KF40KF40
尺寸(宽×长×高)m355*680*395355*680*393370*880*628
重量kg(lbs)108120116144165
最高环境温度ºC(ºF)40 / (104)
最低环境温度ºC(ºF)5 / (41)
真空压力功耗(DP+BP)kW1.35 / 01.55 / 01.38 / 01.15 / 0.41.35 / 0.4
额定电机功率(DP+BP)kW2.2
23.7
电源电压-相数-频率V/Φ/Hz200~400V / 3Φ / 50,60Hz
充油量(DP+BP)l0.330.510.390.660.66
项目单位DM-650DLDM-680DLDM-900DLDM-1500DLDM-2000DL
抽速m³/hr66769696016002020
l/min1111711600160002666733667
模块吹扫时的极限压力Torr<5.0*10-3
Pa<6.0*10-1
最大排气压力bar(psig)1.5(7.2)
供氮压力bar(psig)4~8(43~100)
内部吹气压力bar(psig)3(29)
氮气消耗(腐蚀)slm-
氮气消耗(CVD)slm100
氮气接口inch1/4" Lok Fitting
冷却水消耗量l/min4~8
冷却水供应温度ºC(ºF)10~28(50~90)
冷却水供应压力bar(psig)3.5~6(36~73)
冷却水接口inch3/8”Quick Connector
进气口mmDN100 ISO-KVG100DN160 ISO-K
排气口mmKF40KF50
尺寸(宽×长×高)m370*880*628930*400*700
重量kg(lbs)185370422450480
最高环境温度ºC(ºF)40 / (104)
最低环境温度ºC(ºF)5 / (41)
真空压力功耗(DP+BP)kW2.2 / 1.652.6 / 2.22.8 / 2.53.3 / 2.53.3 / 3.0
额定电机功率(DP+BP)kW8
8
11
电源电压-相数-频率V/Φ/Hz200~400V / 3Φ / 50,60Hz
充油量(DP+BP)l1.221.351.381.552.2

服务网络

办事处布局海内外,一步步全程为您服务

进一步了解>
首页 产品与服务 电话咨询 留言

0512-57866668

×