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复合分子泵

复合分子泵

分子泵是一种高速旋转的动量型真空获得设备,在分子流态下,气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量,从而使气体分子得到逐级压缩,最后被抽除。工作压强范围通常在10-1Pa~10-7Pa之间,是实现高真空和超高真空的重要真空设备。

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  • 产品概述

    分子泵是一种高速旋转的动量型真空获得设备,在分子流态下,气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量,从而使气体分子得到逐级压缩,最后被抽除。工作压强范围通常在10-1Pa~10-7Pa之间,是实现高真空和超高真空的重要真空设备。
    分子泵一般有两种结构形式,一种是由动静叶片组成的涡轮分子泵,一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。复合型分子泵的特点是分子泵高压强区的抽速有所提高,出口耐压也得到提高,可以适当减小前级泵的规格,节省投资。
    根据轴承润滑方式不同,分子泵有油润滑、脂润滑两种。一般情况下,油润滑分子泵只能竖直安装,脂润滑分子泵可以任意角度安装。
    苏州科瑞达推出的新一代复合型脂润滑分子泵产品,就是针对工业真空和科研领域进行了全新的设计和优化,按进气口径主要有100mm、160mm、200mm、250mm等多款主流应用的产品,抽速从110L/s 到2000L/s的范围,涵盖4个类别共11种产品类型。

  • 主要特点

    启动速度快、工作范围广、运行功耗低、洁净度高、维护和操作简单;
    精密轴承:脂润滑精密陶瓷球轴承,可任意角度安装;
    产品可靠:涡轮转子一体加工成型,高速电机驱动;
    功能多样:配件齐全,可提供客户定制的方案;
    转速可调:满足客户多种抽速的需求;

  • 应用领域

    适用PVD、CVD、液晶平板、玻璃镀膜、光学镀膜、导电玻璃等工业镀膜;
    质谱分析、高能物理、真空除气、真空检漏、真空冶金、电真空器件;
    半导体、光伏太阳能电池制造,以及真空技术的其他领域;
    医药与生物工程、环境模拟等科学研究领域;

规格&参数

复合分子泵.png

复合分子泵技术参数

类型润滑轴承

分子泵

系列型号

进气

口径

(mm)


进气接口

与标准

排气

接口

额定

抽速

(L/s)

极限

压强

(≤P)

额定

转速

(rpm)

驱动

电源

通讯

方式

电源

输入

安装

角度

重量

(kg)

建议

前级泵

(L/s)

选型

备注



CMP-100/110100

IS0-K100

CF100

KF251106*10-642300120W

RS232

RS485

15针D

型接口

AC

200-240V

3P-50Hz

任意82

Q-充气保护

S-标准水冷

F-风冷型泵

K-抗冲击型

N-耐腐蚀型

CMP-100/1501502*10-651000150W任意92
CMP-100/3003002*10-651000300W任意112
CMP-160/500160

IS0-K160

CF160

KF405006*10-627000750W垂直294-8
CMP-160/6206006*10-627000750W垂直294-8
CMP-160/7007006*10-636000750W任意234-8
CMP-200/1200200

IS0-K200

CF200

KF4012006*10-624000750W垂直3915
CMP-200/130013006*10-624000750W任意33
15
CMP-250/1500250

IS0-K250

CF250

KF5015006*10-621000750W垂直6015
CMP-250/160016006*10-627000750W垂直4715
CMP-250/200020006*10-624000750W任意4715

备注:

1、环境温度:-10℃~+50℃;               2、环境湿度:90%以下(无水珠凝结现象);

3、设备场所:无强烈腐蚀性气体和粉尘; 4、振动强度:0.5g(加速度)以下;

5、泵体烘烤温度:≤ 100℃;                  6、冷却水温:≤ 25℃,冷却水压:0.1 - 0.2MPa,流量≥1 L/ min;

7、冷却方式选择:环境温度在5-32℃时可采用风冷;环境温度≥32℃时,需采用水冷,进气口径大于200mm时,均采用水冷方式;

8、复合分子泵连续工作入口压强要≤5Pa(0.05mbar),且要求前级排气口压强保持在10Pa(0.1mbar)以下;

9、选型时须配置合理的前级泵(一般选用旋片泵),并使用与之相匹配的KRD分子泵控制器。

10、表中抽速是以氮气为代表的参数值;原则上10-4Pa的真空系统,不必烘烤,10-6Pa的真空系统,系统需要烘烤。

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