复合分子泵
分子泵是一种高速旋转的动量型真空获得设备,在分子流态下,气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量,从而使气体分子得到逐级压缩,最后被抽除。工作压强范围通常在10-1Pa~10-7Pa之间,是实现高真空和超高真空的重要真空设备。
分子泵是一种高速旋转的动量型真空获得设备,在分子流态下,气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量,从而使气体分子得到逐级压缩,最后被抽除。工作压强范围通常在10-1Pa~10-7Pa之间,是实现高真空和超高真空的重要真空设备。
分子泵一般有两种结构形式,一种是由动静叶片组成的涡轮分子泵,一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。复合型分子泵的特点是分子泵高压强区的抽速有所提高,出口耐压也得到提高,可以适当减小前级泵的规格,节省投资。
根据轴承润滑方式不同,分子泵有油润滑、脂润滑两种。一般情况下,油润滑分子泵只能竖直安装,脂润滑分子泵可以任意角度安装。
苏州科瑞达推出的新一代复合型脂润滑分子泵产品,就是针对工业真空和科研领域进行了全新的设计和优化,按进气口径主要有100mm、160mm、200mm、250mm等多款主流应用的产品,抽速从110L/s 到2000L/s的范围,涵盖4个类别共11种产品类型。
启动速度快、工作范围广、运行功耗低、洁净度高、维护和操作简单;
精密轴承:脂润滑精密陶瓷球轴承,可任意角度安装;
产品可靠:涡轮转子一体加工成型,高速电机驱动;
功能多样:配件齐全,可提供客户定制的方案;
转速可调:满足客户多种抽速的需求;
适用PVD、CVD、液晶平板、玻璃镀膜、光学镀膜、导电玻璃等工业镀膜;
质谱分析、高能物理、真空除气、真空检漏、真空冶金、电真空器件;
半导体、光伏太阳能电池制造,以及真空技术的其他领域;
医药与生物工程、环境模拟等科学研究领域;
复合分子泵技术参数
类型 | 润滑 | 轴承 | 分子泵 系列型号 | 进气 口径 (mm) | 进气接口 与标准 | 排气 接口 | 额定 抽速 (L/s) | 极限 压强 (≤P) | 额定 转速 (rpm) | 驱动 电源 | 通讯 方式 | 电源 输入 | 安装 角度 | 重量 (kg) | 建议 前级泵 (L/s) | 选型 备注 |
复 合 分 子 泵 涡 轮 级 牵 引 级 | 脂 | 精 密 陶 瓷 轴 承 | CMP-100/110 | 100 | IS0-K100 CF100 | KF25 | 110 | 6*10-6 | 42300 | 120W | RS232 RS485 15针D 型接口 | AC 200-240V 3P-50Hz | 任意 | 8 | 2 | Q-充气保护 S-标准水冷 F-风冷型泵 K-抗冲击型 N-耐腐蚀型 |
脂 | CMP-100/150 | 150 | 2*10-6 | 51000 | 150W | 任意 | 9 | 2 | ||||||||
脂 | CMP-100/300 | 300 | 2*10-6 | 51000 | 300W | 任意 | 11 | 2 | ||||||||
油 | CMP-160/500 | 160 | IS0-K160 CF160 | KF40 | 500 | 6*10-6 | 27000 | 750W | 垂直 | 29 | 4-8 | |||||
油 | CMP-160/620 | 600 | 6*10-6 | 27000 | 750W | 垂直 | 29 | 4-8 | ||||||||
脂 | CMP-160/700 | 700 | 6*10-6 | 36000 | 750W | 任意 | 23 | 4-8 | ||||||||
油 | CMP-200/1200 | 200 | IS0-K200 CF200 | KF40 | 1200 | 6*10-6 | 24000 | 750W | 垂直 | 39 | 15 | |||||
脂 | CMP-200/1300 | 1300 | 6*10-6 | 24000 | 750W | 任意 | 33 | 15 | ||||||||
油 | CMP-250/1500 | 250 | IS0-K250 CF250 | KF50 | 1500 | 6*10-6 | 21000 | 750W | 垂直 | 60 | 15 | |||||
油 | CMP-250/1600 | 1600 | 6*10-6 | 27000 | 750W | 垂直 | 47 | 15 | ||||||||
脂 | CMP-250/2000 | 2000 | 6*10-6 | 24000 | 750W | 任意 | 47 | 15 | ||||||||
备注: 1、环境温度:-10℃~+50℃; 2、环境湿度:90%以下(无水珠凝结现象); 3、设备场所:无强烈腐蚀性气体和粉尘; 4、振动强度:0.5g(加速度)以下; 5、泵体烘烤温度:≤ 100℃; 6、冷却水温:≤ 25℃,冷却水压:0.1 - 0.2MPa,流量≥1 L/ min; 7、冷却方式选择:环境温度在5-32℃时可采用风冷;环境温度≥32℃时,需采用水冷,进气口径大于200mm时,均采用水冷方式; 8、复合分子泵连续工作入口压强要≤5Pa(0.05mbar),且要求前级排气口压强保持在10Pa(0.1mbar)以下; 9、选型时须配置合理的前级泵(一般选用旋片泵),并使用与之相匹配的KRD分子泵控制器。 10、表中抽速是以氮气为代表的参数值;原则上10-4Pa的真空系统,不必烘烤,10-6Pa的真空系统,系统需要烘烤。 |