水氧柜是一款制热循环的密闭型精密恒温设备，主要应用于光伏电池片的扩散湿氧工艺。通过各智能模块的间歇或连续控制来达到设定的目标温度，并保持稳定的温度控制。
水氧柜由液位控制模块、恒温控制模块、报警模块、应急处置模块等辅助的电气系统组成，是一种可以保持恒定温度环境的设备，可选带通讯功能，可选气路与液路阀组的模块化集成安装，使结构更加紧凑。

主要优点是整机布局合理、整洁美观、一体化模组设计，易于现场安装，方便日常的操作与定期的维护和保养。
智能控制响应速度灵敏，控制精度高，操作简单，内置连锁报警装置，安全系数高。通过恒温装置的控制，水氧瓶内的工艺介质可以始终维持在稳定的工艺要求温度范围之内，从而保障优良的产品工艺品质。
根据客户现场的使用情况，设备结构上可将水氧柜和气路液路阀组结合在一起，在上机之前离线组装，可以确保阀与阀及管路之间的有效连接，避免因空间限制安装不良造成的漏气、漏液等问题的出现，也有效地延长了阀组的使用寿命和保养周期。